Airtech FFU 过滤风机
应用半导体设备装置过滤风机。 产品要点 主体是不锈钢制（镜面加工）。 通过采用高效率DC电机，实现了省电。 速度控制器可以无阶段控制风量。*MAC-ⅡA-5DC除外 带LED运转指示灯。（吹气面）*MAC-ⅡA-5DC、PTFE过滤器规格除外 电源为AC100V1φ 50/60Hz *AC200V 1Φ 需要规格的话请另外咨询。 也有与更高清净度对应的U
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在线咨询产品要点
主体是不锈钢制（镜面加工）。
通过采用高效率DC电机，实现了省电。
速度控制器可以无阶段控制风量。*MAC-ⅡA-5DC除外
带LED运转指示灯。（吹气面）*MAC-ⅡA-5DC、PTFE过滤器规格除外
电源为AC100V1φ 50/60Hz
*AC200V 1Φ 需要规格的话请另外咨询。
也有与更高清净度对应的ULPA过滤器规格。
RoHS指令对应品。
EC-MAC（DCモーター仕様）
型号 MAC-ⅡA-32DCCON，MAC-ⅡA-52DCCON，MAC-ⅡA-101DCCON，MAC-ⅡA-151DCCON / MAC-ⅡA-251DCCON
| 型式 | MAC-ⅡA-32DCCON / MAC-ⅡA-52DCCON / MAC-ⅡA-101DCCON |
|---|---|
| 集塵効率 | 0.3μm粒子にて99.99％以上 |
| 集塵要素 | メインフィルター：ＨＥＰＡフィルター プレフィルター：サランネット加工品 |
| 処理風量（m³/min） | 約 3 / 約 5 / 約 10 |
| 吹出風速（m/s） | 平均 0.38 / 平均0. 39 / 平均0.51 |
| 騒音(dBA) | 約 54 / 約 54 / 約 55 |
| 電源 | AC100 1φ 50/60Hz *AC200V 1Φ 仕様をご要望の場合は別途お問い合わせください。 |
| 消費電力(W) | 約 28 / 約 28 / 約 65 |
| 設備電力(VA) | 約 50 / 約 55 / 約 110 |
| 送風機 | DCブラシレスモーター |
| 送風機 (台数) | 1 |
| 重量（kg） | 約 8.1 / 約 10 / 約 12 |
| 構造 | 本体：SUS430（鏡面仕上） |
| 運転表示灯 | 赤色高輝度LED |
| 付属品 | 機器取付用パッキン×1 |
| 型式 | MAC-ⅡA-151DCCON / MAC-ⅡA-251DCCON |
|---|---|
| 集塵効率 | 0.3μ粒子にて99.99％以上 |
| 集塵要素 | メインフィルター：ＨＥＰＡフィルター プレフィルター：サランネット加工品 |
| 処理風量（m³/min） | 約 15 / 約 25 |
| 吹出風速（m/s） | 平均0.37 / 平均 0.61 |
| 騒音(dBA) | 約 58 / 約 57 |
| 電源 | AC100 1φ 50/60Hz *AC200V 1Φ 仕様をご要望の場合は別途お問い合わせください。 |
| 消費電力(W) | 約 78 / 約 125 |
| 設備電力(VA) | 約 130 / 約 195 |
| 送風機 | DCブラシレスモーター |
| 送風機 (台数) | 1 / 2 |
| 重量（kg） | 約 19.3 / 約 25 |
| 構造 | 本体：SUS430（鏡面仕上） |
| 運転表示灯 | 赤色高輝度LED |
| 付属品 | 機器取付用パッキン×1 |
| 型式 | MAC-ⅡA-5DC |
|---|---|
| 集塵効率 | 0.3μm粒子にて99.99％以上 |
| 集塵要素 | メインフィルター：ＨＥＰＡフィルター *プレフィルターはオプション |
| 処理風量（m³/min） | 約0.55 |
| 吹出風速（m/s） | 平均 0.7 |
| 騒音(dBA) | 約 52 |
| 電源 | DC24V |
| 消費電力(W) | 約 9 |
| 送風機 | DCブラシレスファン |
| 送風機 (台数) | 1 |
| 重量（kg） | 約 1 |
| 構造 | 鋼板製焼付塗装 |
| 運転表示灯 | なし |
| 付属品 | 機器取付用パッキン×1 |
| 備考 | ・LED表示灯、スピードコントローラーは付きません。 ・電源はDC24V仕様のみ |
EC-MAC ACモーター仕様
型号：MAC-ⅡA-10，MAC-ⅡA-30，MAC-ⅡA-50，MAC-ⅡA-100，MAC-ⅡA-150，MAC-ⅡA-250；
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