仓敷化工 KURASHIKI KAKO线性马达型主动式除震台 L Type 系列
L Type 系列 ．主动式除震台 ．相较于气压方式，空气的使用量少，所以具有更优越的除震功能 ※LC TYPE完全不必使用气压 ．在高频率领域也可控制
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．主动式除震台
．相较于气压方式，空气的使用量少，所以具有更优越的除震功能
※LC TYPE完全不必使用气压
．在高频率领域也可控制
LS TYPE
・L系列的旗舰型
・FB・FF控制具有出色的主动隔震性能
主要用途
・扫描型电子显微镜
・扫描型探针显微镜
・表面检查设备等
LH TYPE
・圆顶万象活塞和螺旋弹簧的混和构造
・实现小型化，不占空间
・适合高重心设备
主要用途
・穿透式电子显微镜
・扫描型电子显微镜等
LC TYPE
・提供垂直FB、水平FB、FF等机能需求的选择
・选择需求的机能，客制价格合理实惠的主动式除震台
・无须气压源
主要用途
・泛用扫描式电子显微镜
・表面检查设备等
LS TYPE
LH TYPE
LC TYPE
产品规格
LS TYPE
| EST-L4SR | EST-L5SR | EST-L6SR | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | ||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | ||
| 水平調整方式 | 自動水平 | ||
| 控制器※1 | 數位式控制 | ||
| 最大搭載重量(kg)※2 | 120 | 210 | 390 |
| 外形尺寸(mm) A | 200x200 | 200x200 | 230x230 |
| 安裝尺寸(mm) B | 180x180 | 180x180 | 210x210 |
| 作動時高度(mm) | 169 | 169 | 169 |
| 製品重量(kg) | 10 | 10 | 14 |
LH TYPE
| EST-L5HR-L | EST-L5HR-M | EST-L5HR-H | EST-L6HF-L | EST-L6HF-M | EST-L6HF-H | |
| 驅動機構 | 線性馬達 | |||||
| 控制方式 | FB、FF 6自由度控制 | |||||
| 水平碉整方式 | 自動水平 | |||||
| 控制器※1 | 數位式控制 | |||||
| 搭載重量(kg)※2 | 190〜320 | 240〜350 | 290〜400 | 340〜570 | 500〜660 | 630〜750 |
| 外形尺寸(mm) A | 220x220 | 240x240 | ||||
| 安裝尺寸(mm) B | 200x200 | 220x220 | ||||
| 作動時高度(mm) | 176 | 185 | ||||
| 製品重量(kg) | 20 | 29 | ||||
LC TYPE
| EST-L100-☐☐ ※1 | |
| 驅動機構 | 線性馬達 |
| 控制方式 | 垂直FB •水平FBヽFF 6控制 可選配 |
| 水平調整方式 | 手動式水平 |
| 控制器 | 類比式控制※2 |
| 搭載重量(kg)※3 | 25 〜100 |
| 外形尺寸(mm) A | 100 x 100 x 100 |
| 安裝尺寸(mm) B | 92x92 |
| 作動時高度(mm) | 100 |
| 製品重量(kg) | 2.5 |
| LS/LH專用控制器 | LS/LH專用電源 | LC專用FF控制器(選配) | LC專用電源 | |
| 外型 (WxDxHmm) | 150x130x62 | 180x220x100 | 160x250x40 | 160x250x50 |
| 重量(kg) | 1kg | 3 kg | 1.6kg | 1.9kg |
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